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日本Ulvac爱发科|干式真空泵|LR / HR系列

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日本Ulvac爱发科|干式真空泵|LR / HR系列
  日本Ulvac爱发科|干式真空泵|LR / HR系列的详细资料:

LR / HR系列
在心血管疾病的硬盘过程中,压缩热,这是自己的高温度均匀性技术的有效利用这一干泵系列高耐用性,蚀刻等。
在光的过程,约达70%的电力消耗削减泵上的ECHO - SHOCK的可能。CE标志是可用于所有系列(可选)。
 

特点

LR系列:低温度分布的均匀性。疏散的LL室的*泵除了PVD工艺,减少排气时间是很重要的了吞吐量。
HR系列:高温度分布的均匀性。排气CVD和蚀刻工艺产生的气态的升华,它是可能的。
降噪PDR - 180C:74分贝→LR180:68.5分贝
泵承受功率高达500ms的持续时间中断。
CE标志是可供索阅。
 
应用

激活气体疏散(CVD和蚀刻等)
惰性气体疏散(PVD,蒸发,热处理工艺等)
LL室LR系列排气时间的减少
疏散过程中产生粉末(硅晶体生长炉等气体)
涡轮分子泵和机械增压泵等的前级泵

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